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浮動(dòng)拋光方法

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浮動(dòng)拋光方法
科眾工業(yè)陶瓷廠(http://www.kztaoci.com/)【結(jié)構(gòu)陶瓷專家】詢價(jià)手機(jī):13412443344 QQ921105260
 
   超精密平面浮動(dòng)拋光機(jī)采用液體靜壓軸承,并在臺(tái)面上裝有超精密金剛石立車拋光盤修整器。拋光機(jī)要放置在有空調(diào)的潔凈室內(nèi)的超潔凈工作臺(tái)上,在100級(jí)潔凈度下進(jìn)行拋光。
   
   采用純水或蒸溜水做加工液,使用公稱直徑7nm的SiO?超微細(xì)粒子作拋光劑(質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2%~3%)。拋光時(shí),將拋光盤表面浸沒在拋光液內(nèi)。將表面粗糙度Rz1.0μm以下、平面度數(shù)微米的工件放在拋光盤上,并使拋光盤和工件高速回轉(zhuǎn),借助兩者之間的拋光液的動(dòng)壓流體潤滑狀態(tài),使工件懸浮在拋光盤上進(jìn)行拋光。

   
   浮動(dòng)拋光時(shí),由于工件上浮量只有數(shù)微米,所以當(dāng)預(yù)加工工件的表面粗粗糙度Rz為數(shù)微米時(shí),在工件與拋光盤間建立不起液膜,并且會(huì)損壞拋光盤,不能進(jìn)行懸浮拋光。浮動(dòng)拋光還要求工件有良好的平面度。拋光機(jī)無軸向振動(dòng)。為了防止工件與錫拋光盤接觸,還需往拋光液中添加增黏劑。因此,工件不能由粗加工或中加工直接移至最終浮動(dòng)拋光加工。浮動(dòng)拋光要求工件在的前道工序進(jìn)行精拋光,且加工表面粗糙度不大于35nm。
    
   因錫拋光盤剛性較高,并且加工中的拋光壓力較高,所以工件與拋光盤間幾微米厚度的拋光液膜的剛性也高。工件不直接與錫盤接觸,因此,錫盤在拋光過程中磨損極少,比其他拋光法更易保持平面度。另外,由于動(dòng)壓液體的均化作用,工件表面比錫盤的平面度更高。即使錫盤表面有微量不平,也不會(huì)直接“復(fù)印”到工件表面。在加工中要保持工作平穩(wěn)回轉(zhuǎn),使用的拋光壓力僅是工件和工件夾具的自重,不需要施加外力。
 
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