無論是固相反應(yīng)還是水合反應(yīng)，可利用摩擦產(chǎn)生的機(jī)械除去由于兩物體的接觸摩擦產(chǎn)生的界面局部反應(yīng)生成物來進(jìn)行加工。
 
這種形式的加工，由于界面反應(yīng)不會對刀具的材料硬度形成任何威脅。因此可使用比工件軟的材料作為加工介質(zhì)，這樣就有可能實(shí)現(xiàn)無損傷表面加工，機(jī)械化學(xué)拋光加工就是其中一例。
 
利用界面反應(yīng)進(jìn)行加工時(shí)，加工介質(zhì)可以是反應(yīng)性粉末、反應(yīng)性固體表面或者液體等。用機(jī)械能很容易地將反應(yīng)生成物從工件表面去除。每徹底去除一次，工件表面相應(yīng)地后退約5nm（反應(yīng)層深度約為5nm），在工件表面反復(fù)進(jìn)行這個步驟，工件表面的凸出部位就逐漸趨向平滑，從加工單位來看，最終可以加工出表面粗糙度為數(shù)納米以下的超精密表面，這樣的加工稱為界面反應(yīng)拋光。

 
在利用固相反應(yīng)的機(jī)械化學(xué)拋光中，加工介質(zhì)通常使用適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)性粉末。這主要是想要通過粉末所具有的高活性度及對工件表面的高接觸率來進(jìn)行界面反應(yīng)。因此機(jī)械化學(xué)拋光裝置與常規(guī)拋光裝置是相同的。
 
在水合拋光中，作為加工介質(zhì)的水是純凈水，這樣可避免由加工介質(zhì)所引起的加工面污染。因此，這種加工也稱為清潔加工。
 
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